工具技术
工具技術
공구기술
TOOL ENGINEERING
2010年
7期
7-11
,共5页
SiC单晶片%超硬磨料%线锯超声纵向振动%切割技术
SiC單晶片%超硬磨料%線鋸超聲縱嚮振動%切割技術
SiC단정편%초경마료%선거초성종향진동%절할기술
在SiC单晶片的制造中,切割是加工SiC单晶片的关键工序,其成本占整个加工成本的50%以上.然而,传统的切割技术还存在一定的缺点或局限性.本文在分析传统切割技术的基础上,较详细地介绍了金刚石线锯超声纵向振动切割技术,指出金刚石线锯超声纵向振动切割技术与相同实验条件下的未施加超声振动的锯切方法相比,具有加工材料去除率高、表面质量好、加工表面损伤小、挠曲变形小、切片薄、片厚一致性好、能切割大尺寸SiC锭等优点,是应用前景非常广泛的切割方法.
在SiC單晶片的製造中,切割是加工SiC單晶片的關鍵工序,其成本佔整箇加工成本的50%以上.然而,傳統的切割技術還存在一定的缺點或跼限性.本文在分析傳統切割技術的基礎上,較詳細地介紹瞭金剛石線鋸超聲縱嚮振動切割技術,指齣金剛石線鋸超聲縱嚮振動切割技術與相同實驗條件下的未施加超聲振動的鋸切方法相比,具有加工材料去除率高、錶麵質量好、加工錶麵損傷小、撓麯變形小、切片薄、片厚一緻性好、能切割大呎吋SiC錠等優點,是應用前景非常廣汎的切割方法.
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