热加工工艺
熱加工工藝
열가공공예
HOT WORKING TECHNOLOGY
2011年
3期
33-35,38
,共4页
溶胶-凝胶%掺杂ZnO薄膜%晶体结构%透光率
溶膠-凝膠%摻雜ZnO薄膜%晶體結構%透光率
용효-응효%참잡ZnO박막%정체결구%투광솔
采用溶胶-凝胶工艺在普通玻璃基片上制备了Ag+、Al3+共掺Zno薄膜,通过XRD、紫外分光光度计和金相显微镜等设备,研究了掺杂Ag和Al对半导体ZnO薄膜组织结构和光学性能的影响.结果表明,掺杂Ag和Al对ZnO薄膜结构和光学性能的影响因浓度不同而有差异.Ag+、Al3+掺杂浓度为1%时,摩尔比为4:1;固定Ag+浓度为1.5%,Al3+浓度为0.5%;Ag+、Al3+浓度为3%,摩尔比为4:1,提拉次数15次时,ZaO薄膜的结构、透光率最好.
採用溶膠-凝膠工藝在普通玻璃基片上製備瞭Ag+、Al3+共摻Zno薄膜,通過XRD、紫外分光光度計和金相顯微鏡等設備,研究瞭摻雜Ag和Al對半導體ZnO薄膜組織結構和光學性能的影響.結果錶明,摻雜Ag和Al對ZnO薄膜結構和光學性能的影響因濃度不同而有差異.Ag+、Al3+摻雜濃度為1%時,摩爾比為4:1;固定Ag+濃度為1.5%,Al3+濃度為0.5%;Ag+、Al3+濃度為3%,摩爾比為4:1,提拉次數15次時,ZaO薄膜的結構、透光率最好.
채용용효-응효공예재보통파리기편상제비료Ag+、Al3+공참Zno박막,통과XRD、자외분광광도계화금상현미경등설비,연구료참잡Ag화Al대반도체ZnO박막조직결구화광학성능적영향.결과표명,참잡Ag화Al대ZnO박막결구화광학성능적영향인농도불동이유차이.Ag+、Al3+참잡농도위1%시,마이비위4:1;고정Ag+농도위1.5%,Al3+농도위0.5%;Ag+、Al3+농도위3%,마이비위4:1,제랍차수15차시,ZaO박막적결구、투광솔최호.
