计测技术
計測技術
계측기술
METROLOGY & MEASUREMENT TECHNOLOGY
2012年
1期
10-14
,共5页
邢维巍%冯晓妍%樊尚春%汤章阳
邢維巍%馮曉妍%樊尚春%湯章暘
형유외%풍효연%번상춘%탕장양
谐振式%传感器%闭环系统%动态特性
諧振式%傳感器%閉環繫統%動態特性
해진식%전감기%폐배계통%동태특성
动态特性是传感器的一个重要的性能指标.本文分析了基于幅频特性的谐振式硅微压力传感器闭环系统的动态特性及其影响因素,并进行了相应的实验研究.由基于幅频特性的闭环系统内部控制过程得到影响闭环系统动态特性的因素有三个:谐振器固有频率对压力的响应时间；谐振器稳定振动的建立时间；信号处理与数据处理时间.对闭环系统内部控制过程及实验结果的分析表明,谐振器稳定振动的建立时间为主要因素.研究结果为设计闭环系统动态特性改善方案提供了依据.
動態特性是傳感器的一箇重要的性能指標.本文分析瞭基于幅頻特性的諧振式硅微壓力傳感器閉環繫統的動態特性及其影響因素,併進行瞭相應的實驗研究.由基于幅頻特性的閉環繫統內部控製過程得到影響閉環繫統動態特性的因素有三箇:諧振器固有頻率對壓力的響應時間；諧振器穩定振動的建立時間；信號處理與數據處理時間.對閉環繫統內部控製過程及實驗結果的分析錶明,諧振器穩定振動的建立時間為主要因素.研究結果為設計閉環繫統動態特性改善方案提供瞭依據.
동태특성시전감기적일개중요적성능지표.본문분석료기우폭빈특성적해진식규미압력전감기폐배계통적동태특성급기영향인소,병진행료상응적실험연구.유기우폭빈특성적폐배계통내부공제과정득도영향폐배계통동태특성적인소유삼개:해진기고유빈솔대압력적향응시간；해진기은정진동적건립시간；신호처리여수거처리시간.대폐배계통내부공제과정급실험결과적분석표명,해진기은정진동적건립시간위주요인소.연구결과위설계폐배계통동태특성개선방안제공료의거.
