仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2012年
6期
6-7,28
,共3页
陈继超%赵湛%刘启民%肖丽%杜利东
陳繼超%趙湛%劉啟民%肖麗%杜利東
진계초%조담%류계민%초려%두리동
共晶键合%气密封装%Ag-Sn焊片
共晶鍵閤%氣密封裝%Ag-Sn銲片
공정건합%기밀봉장%Ag-Sn한편
研究了在MEMS气密性封装中基于Ag - Sn焊片的共晶键合技术.设计了共晶键合多层材料的结构和密封环图形,在221℃实现了良好的键合效果,充N2保护的键合环境下,平均剪切强度达到9.4 Mpa.三个月前后气密性对比实验表明氦泄漏不超过5×10-4 Pa.cm3/s,满足GJB548B-2005标准规定,验证了Ag - Sn共晶键合技术在MEMS气密封装中应用的可行性.
研究瞭在MEMS氣密性封裝中基于Ag - Sn銲片的共晶鍵閤技術.設計瞭共晶鍵閤多層材料的結構和密封環圖形,在221℃實現瞭良好的鍵閤效果,充N2保護的鍵閤環境下,平均剪切彊度達到9.4 Mpa.三箇月前後氣密性對比實驗錶明氦洩漏不超過5×10-4 Pa.cm3/s,滿足GJB548B-2005標準規定,驗證瞭Ag - Sn共晶鍵閤技術在MEMS氣密封裝中應用的可行性.
연구료재MEMS기밀성봉장중기우Ag - Sn한편적공정건합기술.설계료공정건합다층재료적결구화밀봉배도형,재221℃실현료량호적건합효과,충N2보호적건합배경하,평균전절강도체도9.4 Mpa.삼개월전후기밀성대비실험표명양설루불초과5×10-4 Pa.cm3/s,만족GJB548B-2005표준규정,험증료Ag - Sn공정건합기술재MEMS기밀봉장중응용적가행성.
