锆钛酸铅(PZT)薄膜的自发极化与压电响应
고태산연(PZT)박막적자발겁화여압전향응
SPONTANEOUS POLARIZATION AND PIEZOELECTRIC RESPONSES OF PZT THIN FILMS
  • 万方数据
    材料研究学报 재료연구학보
    CHINESE JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH
    2000年 4期 397-400 ,共4页

    程晋荣%徐东%孟中岩

    정진영%서동%맹중암

    压电薄膜%溶胶-凝胶%MEMS 壓電薄膜%溶膠-凝膠%MEMS
    압전박막%용효-응효%MEMS
    用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si(100)基片上制备了近等原子比的压电PZT薄膜.在准同型相界附近的PZT薄膜的应变机制是受极化控制的压电效应,内电场导致薄膜的自发极化定向,使薄膜未经极化就具有明显的压电响应.
    용용효-응효법재Pt/Ti/SiO2/Si(100)기편상제비료근등원자비적압전PZT박막.재준동형상계부근적PZT박막적응변궤제시수겁화공제적압전효응,내전장도치박막적자발겁화정향,사박막미경겁화취구유명현적압전향응.
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