微电子学
微電子學
미전자학
MICROELECTRONICS
2003年
5期
456-457,461
,共3页
三氧化二铝%多孔膜%湿度传感器
三氧化二鋁%多孔膜%濕度傳感器
삼양화이려%다공막%습도전감기
在单晶Si片上热生长一层SiO2薄膜,采用真空淀积的方法制备一层Al薄膜,然后利用铝阳极氧化的方法获得一层多孔Al2O3薄膜.设计制作了电容式Al2O3湿度传感器,测试结果表明,该器件具有较好的感湿特性和较宽的感湿范围.
在單晶Si片上熱生長一層SiO2薄膜,採用真空澱積的方法製備一層Al薄膜,然後利用鋁暘極氧化的方法穫得一層多孔Al2O3薄膜.設計製作瞭電容式Al2O3濕度傳感器,測試結果錶明,該器件具有較好的感濕特性和較寬的感濕範圍.
재단정Si편상열생장일층SiO2박막,채용진공정적적방법제비일층Al박막,연후이용려양겁양화적방법획득일층다공Al2O3박막.설계제작료전용식Al2O3습도전감기,측시결과표명,해기건구유교호적감습특성화교관적감습범위.
