光学仪器
光學儀器
광학의기
OPTICAL INSTRUMENTS
2004年
5期
44-47
,共4页
膜厚监控%高反膜%离子束辅助沉积
膜厚鑑控%高反膜%離子束輔助沉積
막후감공%고반막%리자속보조침적
光学薄膜的厚度对光学元件的性能有决定性的影响,因此精确控制膜厚就成为了关键.分析了石英晶体监控法,介绍了IC/5镀膜自动控制仪.利用IC/5镀膜自动控制仪在现有镀膜机组上镀制出了高性能的高反膜.实验表明所镀膜层的光机性能优异,在光通信和激光器领域具有广阔的应用前景.
光學薄膜的厚度對光學元件的性能有決定性的影響,因此精確控製膜厚就成為瞭關鍵.分析瞭石英晶體鑑控法,介紹瞭IC/5鍍膜自動控製儀.利用IC/5鍍膜自動控製儀在現有鍍膜機組上鍍製齣瞭高性能的高反膜.實驗錶明所鍍膜層的光機性能優異,在光通信和激光器領域具有廣闊的應用前景.
광학박막적후도대광학원건적성능유결정성적영향,인차정학공제막후취성위료관건.분석료석영정체감공법,개소료IC/5도막자동공제의.이용IC/5도막자동공제의재현유도막궤조상도제출료고성능적고반막.실험표명소도막층적광궤성능우이,재광통신화격광기영역구유엄활적응용전경.
