CAJ | 학술논문

本文报道了一个为电容式微加速度计传感器信号处理而设计的全集成化的BD031 CMOS MEM信号处理电路.电路设计采用了对信号的差分电容采样方式和过采样技术、前置采样放大器高增益和低噪声设计措施、可调节选通带宽的的低通滤波器及为提高电容噪声性能的带有虚开关结构的开关电容滤波器设计技术、可微调节增益(常规情况下恒定增益为2)的输出缓冲放大器、可调节振荡频率(正常情况下为800KHz)的本地CMOS时钟产生振荡器及为上述模拟电路提供基准电压和基准电流的基准电压源等设计技术、以及可以进行输入失调调节和对差分电容变化量△C的自测试电路.电路使用单一5伏电源,采用1.2微米、双多晶硅、双铝、N-阱CMOS工艺加工,芯片面积为2.82×3.61平方毫米.芯片性能测试表明其差分小电容变化量△C传感范围达到0.06pF-5pF、带宽为300Hz-5KHz.
본문보도료일개위전용식미가속도계전감기신호처리이설계적전집성화적BD031 CMOS MEM신호처리전로.전로설계채용료대신호적차분전용채양방식화과채양기술、전치채양방대기고증익화저조성설계조시、가조절선통대관적적저통려파기급위제고전용조성성능적대유허개관결구적개관전용려파기설계기술、가미조절증익(상규정황하항정증익위2)적수출완충방대기、가조절진탕빈솔(정상정황하위800KHz)적본지CMOS시종산생진탕기급위상술모의전로제공기준전압화기준전류적기준전압원등설계기술、이급가이진행수입실조조절화대차분전용변화량△C적자측시전로.전로사용단일5복전원,채용1.2미미、쌍다정규、쌍려、N-정CMOS공예가공,심편면적위2.82×3.61평방호미.심편성능측시표명기차분소전용변화량△C전감범위체도0.06pF-5pF、대관위300Hz-5KHz.