物理
物理
물리
2004年
11期
786-790
,共5页
凌志聪%陈旭东%冯汉源%C.D.Beling%龚敏%葛惟锟%王建农%G.Brauer%W.Anwand%W.Skorupa
凌誌聰%陳旭東%馮漢源%C.D.Beling%龔敏%葛惟錕%王建農%G.Brauer%W.Anwand%W.Skorupa
릉지총%진욱동%풍한원%C.D.Beling%공민%갈유곤%왕건농%G.Brauer%W.Anwand%W.Skorupa
六方碳化硅%电子辐照%深能级缺陷%正电子湮灭
六方碳化硅%電子輻照%深能級缺陷%正電子湮滅
륙방탄화규%전자복조%심능급결함%정전자인멸
文章作者利用深能级瞬态谱(DLTS), 正电子湮灭谱(PAS)和光致荧光谱(PL)等谱分析技术研究了六方碳化硅中具有电活性的深能级缺陷. 这些深能级缺陷分别通过不同能量的电子辐照、中子辐照, 或氦离子注入等产生. 经过研究和分析各种实验测试的相关图谱,作者给出了六方碳化硅中一些重要的深能级缺陷在可控辐照条件下产生和退火行为的研究结果以及这些深能级缺陷相关结构的实验依据.
文章作者利用深能級瞬態譜(DLTS), 正電子湮滅譜(PAS)和光緻熒光譜(PL)等譜分析技術研究瞭六方碳化硅中具有電活性的深能級缺陷. 這些深能級缺陷分彆通過不同能量的電子輻照、中子輻照, 或氦離子註入等產生. 經過研究和分析各種實驗測試的相關圖譜,作者給齣瞭六方碳化硅中一些重要的深能級缺陷在可控輻照條件下產生和退火行為的研究結果以及這些深能級缺陷相關結構的實驗依據.
문장작자이용심능급순태보(DLTS), 정전자인멸보(PAS)화광치형광보(PL)등보분석기술연구료륙방탄화규중구유전활성적심능급결함. 저사심능급결함분별통과불동능량적전자복조、중자복조, 혹양리자주입등산생. 경과연구화분석각충실험측시적상관도보,작자급출료륙방탄화규중일사중요적심능급결함재가공복조조건하산생화퇴화행위적연구결과이급저사심능급결함상관결구적실험의거.
