传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2006年
5期
1602-1605
,共4页
王佩瑶%唐洁影%余存江%恩云飞%师谦
王珮瑤%唐潔影%餘存江%恩雲飛%師謙
왕패요%당길영%여존강%은운비%사겸
MEMS%微悬臂梁%粘附失效%可靠度
MEMS%微懸臂樑%粘附失效%可靠度
MEMS%미현비량%점부실효%가고도
MEMS(Micro-electronics Mechanical System)的可靠性已经成为它能否成功地实现商品化的一个重要问题.多晶硅微悬臂梁是MEMS中的一个基本结构,阐述了多晶硅微悬臂梁的粘附失效机理,并利用宏观机械中的理论和可靠性分析方法对表面微加工的多晶硅微悬臂梁的粘附可靠性进行预测,建立了在外载荷下的粘附可靠度预测模型,并利用该模型具体分析了微梁尺寸及外界湿度对可靠度的影响.
MEMS(Micro-electronics Mechanical System)的可靠性已經成為它能否成功地實現商品化的一箇重要問題.多晶硅微懸臂樑是MEMS中的一箇基本結構,闡述瞭多晶硅微懸臂樑的粘附失效機理,併利用宏觀機械中的理論和可靠性分析方法對錶麵微加工的多晶硅微懸臂樑的粘附可靠性進行預測,建立瞭在外載荷下的粘附可靠度預測模型,併利用該模型具體分析瞭微樑呎吋及外界濕度對可靠度的影響.
MEMS(Micro-electronics Mechanical System)적가고성이경성위타능부성공지실현상품화적일개중요문제.다정규미현비량시MEMS중적일개기본결구,천술료다정규미현비량적점부실효궤리,병이용굉관궤계중적이론화가고성분석방법대표면미가공적다정규미현비량적점부가고성진행예측,건립료재외재하하적점부가고도예측모형,병이용해모형구체분석료미량척촌급외계습도대가고도적영향.
