真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2007年
z1期
62-64
,共3页
金晶%卜忍安%薛少丽%左丰国%张劲涛
金晶%蔔忍安%薛少麗%左豐國%張勁濤
금정%복인안%설소려%좌봉국%장경도
介质阻挡放电%紫外辐照度%着火电压%pd值
介質阻擋放電%紫外輻照度%著火電壓%pd值
개질조당방전%자외복조도%착화전압%pd치
通过自行设计的测量装置,用专用探测器对173 nm介质阻挡放电产生的紫外光进行辐照度的测试.对着火电压与pd值、紫外光源的辐照度之间的关系进行测量分析,并对试验中所用MgF2晶体的透过率进行测量和计算.实验结果表明:对于单个的紫外灯,当介质的厚度、气体气压均为常量的时候,介质阻挡放电强度随电压的增加而增加,放电强度呈非线性增加;在气体种类、介质材料的种类和厚度、电极材料的种类确定的情况下,紫外灯的点火电压与pd值会有一个最小值;在大气压下,通过特殊方法测得厚度为2 mm的MgF2晶体对173 nm真空紫外光的透过率为88%.
通過自行設計的測量裝置,用專用探測器對173 nm介質阻擋放電產生的紫外光進行輻照度的測試.對著火電壓與pd值、紫外光源的輻照度之間的關繫進行測量分析,併對試驗中所用MgF2晶體的透過率進行測量和計算.實驗結果錶明:對于單箇的紫外燈,噹介質的厚度、氣體氣壓均為常量的時候,介質阻擋放電彊度隨電壓的增加而增加,放電彊度呈非線性增加;在氣體種類、介質材料的種類和厚度、電極材料的種類確定的情況下,紫外燈的點火電壓與pd值會有一箇最小值;在大氣壓下,通過特殊方法測得厚度為2 mm的MgF2晶體對173 nm真空紫外光的透過率為88%.
통과자행설계적측량장치,용전용탐측기대173 nm개질조당방전산생적자외광진행복조도적측시.대착화전압여pd치、자외광원적복조도지간적관계진행측량분석,병대시험중소용MgF2정체적투과솔진행측량화계산.실험결과표명:대우단개적자외등,당개질적후도、기체기압균위상량적시후,개질조당방전강도수전압적증가이증가,방전강도정비선성증가;재기체충류、개질재료적충류화후도、전겁재료적충류학정적정황하,자외등적점화전압여pd치회유일개최소치;재대기압하,통과특수방법측득후도위2 mm적MgF2정체대173 nm진공자외광적투과솔위88%.
