功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2008年
1期
6-8,11
,共4页
p-GaN%欧姆接触%表面处理%退火%电阻率
p-GaN%歐姆接觸%錶麵處理%退火%電阻率
p-GaN%구모접촉%표면처리%퇴화%전조솔
优良的光电特性使得GaN材料成为当今半导体器件研究领域的热点,但高功函数和低载流子浓度使p-GaN表面难以制备低阻欧姆接触电极、严重妨害了GaN基器件的热稳定性和输出功率.如何制备具有低阻欧姆接触特性的p-GaN电极已成为一个关键的科学和技术问题.探讨了影响p-GaN欧姆接触特性的几个关键因素,如表面预处理工艺、电极材料的选择和厚度、退火工艺等,对此方面的最新进展进行评述和归纳,并提出自己的创新性研究思路.
優良的光電特性使得GaN材料成為噹今半導體器件研究領域的熱點,但高功函數和低載流子濃度使p-GaN錶麵難以製備低阻歐姆接觸電極、嚴重妨害瞭GaN基器件的熱穩定性和輸齣功率.如何製備具有低阻歐姆接觸特性的p-GaN電極已成為一箇關鍵的科學和技術問題.探討瞭影響p-GaN歐姆接觸特性的幾箇關鍵因素,如錶麵預處理工藝、電極材料的選擇和厚度、退火工藝等,對此方麵的最新進展進行評述和歸納,併提齣自己的創新性研究思路.
우량적광전특성사득GaN재료성위당금반도체기건연구영역적열점,단고공함수화저재류자농도사p-GaN표면난이제비저조구모접촉전겁、엄중방해료GaN기기건적열은정성화수출공솔.여하제비구유저조구모접촉특성적p-GaN전겁이성위일개관건적과학화기술문제.탐토료영향p-GaN구모접촉특성적궤개관건인소,여표면예처리공예、전겁재료적선택화후도、퇴화공예등,대차방면적최신진전진행평술화귀납,병제출자기적창신성연구사로.
