光学仪器
光學儀器
광학의기
OPTICAL INSTRUMENTS
2008年
1期
29-33
,共5页
非球面%波面拟合%面形检测%波面相减
非毬麵%波麵擬閤%麵形檢測%波麵相減
비구면%파면의합%면형검측%파면상감
目前非球面面形的检测方法大部分复杂且费时.介绍了在干涉测量法的基础上利用ZYGO干涉仪的波面相减功能,用波面相减的方法对非球面面形进行测量.利用Matlab软件进行程序设计解决该方法中对理想非球面的Zernike系数计算的关键技术,并验证了程序的正确性.这种方法达到直接检测的目的,缩短检测时间和成本.
目前非毬麵麵形的檢測方法大部分複雜且費時.介紹瞭在榦涉測量法的基礎上利用ZYGO榦涉儀的波麵相減功能,用波麵相減的方法對非毬麵麵形進行測量.利用Matlab軟件進行程序設計解決該方法中對理想非毬麵的Zernike繫數計算的關鍵技術,併驗證瞭程序的正確性.這種方法達到直接檢測的目的,縮短檢測時間和成本.
목전비구면면형적검측방법대부분복잡차비시.개소료재간섭측량법적기출상이용ZYGO간섭의적파면상감공능,용파면상감적방법대비구면면형진행측량.이용Matlab연건진행정서설계해결해방법중대이상비구면적Zernike계수계산적관건기술,병험증료정서적정학성.저충방법체도직접검측적목적,축단검측시간화성본.
