安徽师范大学学报（自然科学版）
安徽師範大學學報（自然科學版）
안휘사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF ANHUI NORMAL UNIVERSITY （NATURAL SCIENCE）
2012年
1期
32-34
,共3页
等厚干涉%薄膜%厚度测量
等厚榦涉%薄膜%厚度測量
등후간섭%박막%후도측량
等厚干涉法测量薄膜厚度设备简易,操作方便,分析直观,在生产中有着广泛的应用.本文探讨了两种等厚干涉法测量薄膜厚度的原理与方法,利用预先形成的薄膜台阶产生空气或透明材料劈尖,单色光在劈尖上下两界面的反射光发生相干叠加产生干涉条纹,通过条纹相关参数的测量,获得薄膜的厚度.通过比较,空气劈尖法较之薄膜劈尖法操作更简易、准确,因而更实用.
等厚榦涉法測量薄膜厚度設備簡易,操作方便,分析直觀,在生產中有著廣汎的應用.本文探討瞭兩種等厚榦涉法測量薄膜厚度的原理與方法,利用預先形成的薄膜檯階產生空氣或透明材料劈尖,單色光在劈尖上下兩界麵的反射光髮生相榦疊加產生榦涉條紋,通過條紋相關參數的測量,穫得薄膜的厚度.通過比較,空氣劈尖法較之薄膜劈尖法操作更簡易、準確,因而更實用.
등후간섭법측량박막후도설비간역,조작방편,분석직관,재생산중유착엄범적응용.본문탐토료량충등후간섭법측량박막후도적원리여방법,이용예선형성적박막태계산생공기혹투명재료벽첨,단색광재벽첨상하량계면적반사광발생상간첩가산생간섭조문,통과조문상관삼수적측량,획득박막적후도.통과비교,공기벽첨법교지박막벽첨법조작경간역、준학,인이경실용.
