建筑热能通风空调
建築熱能通風空調
건축열능통풍공조
BUILDING ENERGY & ENVIRONMENT
2002年
1期
2-6
,共5页
SMIF/微环境%气流%数值模拟
SMIF/微環境%氣流%數值模擬
SMIF/미배경%기류%수치모의
SMIF/微环境是应IC产品集成度不断提高而发展起来的新技术.由于其工艺复杂,造价昂贵,所以在设计时有必要对其运行性能加以预测.本文运用CFD技术预测其内部气流流场,为SMIF装置的设计制造及运行提供理论依据.
SMIF/微環境是應IC產品集成度不斷提高而髮展起來的新技術.由于其工藝複雜,造價昂貴,所以在設計時有必要對其運行性能加以預測.本文運用CFD技術預測其內部氣流流場,為SMIF裝置的設計製造及運行提供理論依據.
SMIF/미배경시응IC산품집성도불단제고이발전기래적신기술.유우기공예복잡,조개앙귀,소이재설계시유필요대기운행성능가이예측.본문운용CFD기술예측기내부기류류장,위SMIF장치적설계제조급운행제공이론의거.
