太阳能学报
太暘能學報
태양능학보
ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA
1998年
1期
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射频反应溅射%离子导体%电致变色
射頻反應濺射%離子導體%電緻變色
사빈반응천사%리자도체%전치변색
利用射频反应溅射沉积方法在不同氧含量下以WO3/ITO/Glass为基体,制备了一系列厚度大于200nm的TaOx薄膜,并用Arnoldussen方法检测离子导电性能.结果表明,当溅射功率为150W、氧含量10～80%条件下制备的TaOx薄膜均为离子导体.其中氧含量20-40%时离子导电性能最佳.用TaOx薄膜作为离子导体制备的Al/Niox/TaOx/Wox/ITO/Glass电致变色器件,其着色态在可见光谱范围(0.38-0.78μm)的平均反射比为11.2%,漂白态时对应的平均反射比可达83.2%.本文还讨论了TaOx离子导体的离子导电机理.
利用射頻反應濺射沉積方法在不同氧含量下以WO3/ITO/Glass為基體,製備瞭一繫列厚度大于200nm的TaOx薄膜,併用Arnoldussen方法檢測離子導電性能.結果錶明,噹濺射功率為150W、氧含量10～80%條件下製備的TaOx薄膜均為離子導體.其中氧含量20-40%時離子導電性能最佳.用TaOx薄膜作為離子導體製備的Al/Niox/TaOx/Wox/ITO/Glass電緻變色器件,其著色態在可見光譜範圍(0.38-0.78μm)的平均反射比為11.2%,漂白態時對應的平均反射比可達83.2%.本文還討論瞭TaOx離子導體的離子導電機理.
이용사빈반응천사침적방법재불동양함량하이WO3/ITO/Glass위기체,제비료일계렬후도대우200nm적TaOx박막,병용Arnoldussen방법검측리자도전성능.결과표명,당천사공솔위150W、양함량10～80%조건하제비적TaOx박막균위리자도체.기중양함량20-40%시리자도전성능최가.용TaOx박막작위리자도체제비적Al/Niox/TaOx/Wox/ITO/Glass전치변색기건,기착색태재가견광보범위(0.38-0.78μm)적평균반사비위11.2%,표백태시대응적평균반사비가체83.2%.본문환토론료TaOx리자도체적리자도전궤리.
