CAJ | 학술논문

研究了一种主要应用于碰撞测试领域的硅微机械高性能压阻式加速度计,量程范围为2 000 gn.为满足技术性能要求,加速度计采用一种三梁-质量块结合梳齿阻尼器的新颖结构,从而可以同时具有高灵敏度及高动态特性(包括高谐振频率及精确阻尼控制).这种加速度计采用n型(100)普通硅片制作,主要工艺过程包括双面ICP深刻蚀和压阻集成工艺.振动台测试结果表明,加速度计的灵敏度为0.11 mV/gn/5 V,谐振频率为31 kHz,灵敏度±5%变化下平坦带宽大于5 kHz.采用落杆测试法测试了加速度计的冲击响应及0～2 000 gn满量程范围内的非线性度.封装后的加速度计承受15 000 gn的冲击测试后没有受到损坏.
연구료일충주요응용우팽당측시영역적규미궤계고성능압조식가속도계,량정범위위2 000 gn.위만족기술성능요구,가속도계채용일충삼량-질량괴결합소치조니기적신영결구,종이가이동시구유고령민도급고동태특성(포괄고해진빈솔급정학조니공제).저충가속도계채용n형(100)보통규편제작,주요공예과정포괄쌍면ICP심각식화압조집성공예.진동태측시결과표명,가속도계적령민도위0.11 mV/gn/5 V,해진빈솔위31 kHz,령민도±5%변화하평탄대관대우5 kHz.채용락간측시법측시료가속도계적충격향응급0～2 000 gn만량정범위내적비선성도.봉장후적가속도계승수15 000 gn적충격측시후몰유수도손배.