真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2007年
z1期
38-40
,共3页
胡敏达%杭凌侠%刘卫国%徐均琪%梁海峰
鬍敏達%杭凌俠%劉衛國%徐均琪%樑海峰
호민체%항릉협%류위국%서균기%량해봉
超光滑表面%等离子体抛光%加工平台%等离子体源
超光滑錶麵%等離子體拋光%加工平檯%等離子體源
초광활표면%등리자체포광%가공평태%등리자체원
介绍了一种新型的超光滑表面加工技术-等离子体抛光.设计和安装了一套等离子体加工试验平台.加工试验平台由真空系统、等离子体源、射频电源系统、气路系统组成.试验平台具有独立变量:气体流量、真空度、射频电源发射功率和反射功率和加工时间.对于石英玻璃材料的实验结果表明等离子体抛光是一种可行的有潜力的抛光技术.
介紹瞭一種新型的超光滑錶麵加工技術-等離子體拋光.設計和安裝瞭一套等離子體加工試驗平檯.加工試驗平檯由真空繫統、等離子體源、射頻電源繫統、氣路繫統組成.試驗平檯具有獨立變量:氣體流量、真空度、射頻電源髮射功率和反射功率和加工時間.對于石英玻璃材料的實驗結果錶明等離子體拋光是一種可行的有潛力的拋光技術.
개소료일충신형적초광활표면가공기술-등리자체포광.설계화안장료일투등리자체가공시험평태.가공시험평태유진공계통、등리자체원、사빈전원계통、기로계통조성.시험평태구유독립변량:기체류량、진공도、사빈전원발사공솔화반사공솔화가공시간.대우석영파리재료적실험결과표명등리자체포광시일충가행적유잠력적포광기술.
