传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2008年
2期
226-229
,共4页
郑旭东%曹学成%郑阳明%罗斯建%王跃林%金仲和
鄭旭東%曹學成%鄭暘明%囉斯建%王躍林%金仲和
정욱동%조학성%정양명%라사건%왕약림%금중화
电容式加速度计%微机电系统%深反应离子刻蚀%滑膜阻尼
電容式加速度計%微機電繫統%深反應離子刻蝕%滑膜阻尼
전용식가속도계%미궤전계통%심반응리자각식%활막조니
介绍了一种新型基于滑膜阻尼的电容式微机械加速度计.该加速度计根据差分电容极板间正对面积的改变来检测加速度大小,保证了输出电压与加速度之间的线性度.对加速度计进行了结构设计和分析.给出了加速度计的制作工艺流程,研究了解决深反应离子刻蚀过程中的过刻蚀现象的方法.初步测试结果表明,该加速度计的灵敏度比较理想,谐振频率与理论计算相吻合.
介紹瞭一種新型基于滑膜阻尼的電容式微機械加速度計.該加速度計根據差分電容極闆間正對麵積的改變來檢測加速度大小,保證瞭輸齣電壓與加速度之間的線性度.對加速度計進行瞭結構設計和分析.給齣瞭加速度計的製作工藝流程,研究瞭解決深反應離子刻蝕過程中的過刻蝕現象的方法.初步測試結果錶明,該加速度計的靈敏度比較理想,諧振頻率與理論計算相吻閤.
개소료일충신형기우활막조니적전용식미궤계가속도계.해가속도계근거차분전용겁판간정대면적적개변래검측가속도대소,보증료수출전압여가속도지간적선성도.대가속도계진행료결구설계화분석.급출료가속도계적제작공예류정,연구료해결심반응리자각식과정중적과각식현상적방법.초보측시결과표명,해가속도계적령민도비교이상,해진빈솔여이론계산상문합.
