机械科学与技术
機械科學與技術
궤계과학여기술
MECHANICAL SCIENCE AND TECHNOLOGY
2008年
2期
234-240
,共7页
穆海华%周云飞%严思杰%杨华
穆海華%週雲飛%嚴思傑%楊華
목해화%주운비%엄사걸%양화
点对点运动%轨迹规划算法%精度补偿方法
點對點運動%軌跡規劃算法%精度補償方法
점대점운동%궤적규화산법%정도보상방법
研究了一种优化的超精密点对点运动3阶轨迹规划算法及其精度补偿方法.首先阐述了超精密轨迹规划具有可实用性所必须具备的特征以及实现轨迹时间优化的基本要求.后以系统动力学限制为基础,考虑运动轨迹的全过程,提出了一种通过预处理以获得时间优化的3阶轨迹直接规划算法.提出了一种适当降低系统动力学限制的时间圆整方法,有效补偿了算法计算机离散实现时所带来的精度损失.实例证明了本文提出算法的有效性和可靠性.该算法也成功应用于纳米级精度的半导体加工装备的研发中.
研究瞭一種優化的超精密點對點運動3階軌跡規劃算法及其精度補償方法.首先闡述瞭超精密軌跡規劃具有可實用性所必鬚具備的特徵以及實現軌跡時間優化的基本要求.後以繫統動力學限製為基礎,攷慮運動軌跡的全過程,提齣瞭一種通過預處理以穫得時間優化的3階軌跡直接規劃算法.提齣瞭一種適噹降低繫統動力學限製的時間圓整方法,有效補償瞭算法計算機離散實現時所帶來的精度損失.實例證明瞭本文提齣算法的有效性和可靠性.該算法也成功應用于納米級精度的半導體加工裝備的研髮中.
연구료일충우화적초정밀점대점운동3계궤적규화산법급기정도보상방법.수선천술료초정밀궤적규화구유가실용성소필수구비적특정이급실현궤적시간우화적기본요구.후이계통동역학한제위기출,고필운동궤적적전과정,제출료일충통과예처리이획득시간우화적3계궤적직접규화산법.제출료일충괄당강저계통동역학한제적시간원정방법,유효보상료산법계산궤리산실현시소대래적정도손실.실예증명료본문제출산법적유효성화가고성.해산법야성공응용우납미급정도적반도체가공장비적연발중.
