真空
真空
진공
VACUUM
2011年
3期
58-61
,共4页
杨海刚%尤天友%宋桂林%王天兴%常方高
楊海剛%尤天友%宋桂林%王天興%常方高
양해강%우천우%송계림%왕천흥%상방고
MoO3薄膜%磁控溅射%氧流量%光学性能%电致变色性能
MoO3薄膜%磁控濺射%氧流量%光學性能%電緻變色性能
MoO3박막%자공천사%양류량%광학성능%전치변색성능
本文采用磁控溅射方法,通过金属钼靶材在Ar+O2气氛中反应溅射制备了氧化钼薄膜.在制备样品过程中改变反应气氛O2的流量,保持其它参数不变,得到不同的氧化钼薄膜.采用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)方法对MoO3薄膜样品结构进行表征.XRD测试结果表明MoO3薄膜样品均为非晶结构.MoO3薄膜样品的光学性能和电致变色性能采用分光光度计进行测试研究.研究结果表明,当反应气氛O2/Ar流量比例为1:5时,所制备的样品具有较高的可见光透射率,可见光平均透射率为90%,并且电致变色性能较好,调色范围达到了66.94%.
本文採用磁控濺射方法,通過金屬鉬靶材在Ar+O2氣氛中反應濺射製備瞭氧化鉬薄膜.在製備樣品過程中改變反應氣氛O2的流量,保持其它參數不變,得到不同的氧化鉬薄膜.採用X射線衍射(XRD)和掃描電子顯微鏡(SEM)方法對MoO3薄膜樣品結構進行錶徵.XRD測試結果錶明MoO3薄膜樣品均為非晶結構.MoO3薄膜樣品的光學性能和電緻變色性能採用分光光度計進行測試研究.研究結果錶明,噹反應氣氛O2/Ar流量比例為1:5時,所製備的樣品具有較高的可見光透射率,可見光平均透射率為90%,併且電緻變色性能較好,調色範圍達到瞭66.94%.
본문채용자공천사방법,통과금속목파재재Ar+O2기분중반응천사제비료양화목박막.재제비양품과정중개변반응기분O2적류량,보지기타삼수불변,득도불동적양화목박막.채용X사선연사(XRD)화소묘전자현미경(SEM)방법대MoO3박막양품결구진행표정.XRD측시결과표명MoO3박막양품균위비정결구.MoO3박막양품적광학성능화전치변색성능채용분광광도계진행측시연구.연구결과표명,당반응기분O2/Ar류량비례위1:5시,소제비적양품구유교고적가견광투사솔,가견광평균투사솔위90%,병차전치변색성능교호,조색범위체도료66.94%.
