重庆邮电大学学报（自然科学版）
重慶郵電大學學報（自然科學版）
중경유전대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF CHONGQING UNIVERSITY OF POSTS AND TELECOMMUNICATIONS(NATURAL SCIENCE EDITION)
2011年
4期
443-446
,共4页
王巍%王晓磊%代作海%唐政维%李银国%徐洋%白晨旭
王巍%王曉磊%代作海%唐政維%李銀國%徐洋%白晨旭
왕외%왕효뢰%대작해%당정유%리은국%서양%백신욱
Ti02%Fe3+%氧气传感器%薄膜气敏传感器
Ti02%Fe3+%氧氣傳感器%薄膜氣敏傳感器
Ti02%Fe3+%양기전감기%박막기민전감기
讨论了TiO2对氧气的吸附过程及敏感机理,重点分析了掺铁对氧敏特性的影响.设计出了基于Ti02薄膜结构氧气传感器,通过硅工艺制作了Fe3+掺杂的TiO2薄膜型氧气传感器、并在400℃下对传感器的氧敏特性进行了测试.实验结果表明,该氧气传感器在高温条件下对氧气含量的变化有明显的响应,且具有低电阻的特性.
討論瞭TiO2對氧氣的吸附過程及敏感機理,重點分析瞭摻鐵對氧敏特性的影響.設計齣瞭基于Ti02薄膜結構氧氣傳感器,通過硅工藝製作瞭Fe3+摻雜的TiO2薄膜型氧氣傳感器、併在400℃下對傳感器的氧敏特性進行瞭測試.實驗結果錶明,該氧氣傳感器在高溫條件下對氧氣含量的變化有明顯的響應,且具有低電阻的特性.
토론료TiO2대양기적흡부과정급민감궤리,중점분석료참철대양민특성적영향.설계출료기우Ti02박막결구양기전감기,통과규공예제작료Fe3+참잡적TiO2박막형양기전감기、병재400℃하대전감기적양민특성진행료측시.실험결과표명,해양기전감기재고온조건하대양기함량적변화유명현적향응,차구유저전조적특성.
