光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2011年
11期
2636-2643
,共8页
崔玉国%何高法%荒井羲和%高伟
崔玉國%何高法%荒井羲和%高偉
최옥국%하고법%황정희화%고위
原子力显微镜(AFM)%快速测量%大面积测量%恒高模式%恒力模式%扫描速度
原子力顯微鏡(AFM)%快速測量%大麵積測量%恆高模式%恆力模式%掃描速度
원자력현미경(AFM)%쾌속측량%대면적측량%항고모식%항력모식%소묘속도
构建了一种可快速大面积测量光栅表面微结构的原子力显微镜(AFM)系统,研究了不同扫描模式下扫描速度对测量结果的影响.分别测量了微悬臂探针在恒高模式与恒力模式下的频谱,获得了这两种模式下微悬臂探针的有效带宽.基于恒高模式与恒力模式,在不同扫描速度下分别测量了光栅微结构表面上的一条直线与一个圆周,进而分析了扫描速度对测量结果的影响.基于该AFM系统,采用恒高模式下不失真扫描速度对光栅微结构表面进行了快速、大面积三维形貌测量实验.实验结果表明:测量光栅微结构表面上直径为4.0 mm的圆形区域所用时间仅为40 s.当扫描速度不超过微悬臂探针有效带宽所对应的速度时,所构建的AFM系统可无失真地实现微结构表面的快速、大面积测量.
構建瞭一種可快速大麵積測量光柵錶麵微結構的原子力顯微鏡(AFM)繫統,研究瞭不同掃描模式下掃描速度對測量結果的影響.分彆測量瞭微懸臂探針在恆高模式與恆力模式下的頻譜,穫得瞭這兩種模式下微懸臂探針的有效帶寬.基于恆高模式與恆力模式,在不同掃描速度下分彆測量瞭光柵微結構錶麵上的一條直線與一箇圓週,進而分析瞭掃描速度對測量結果的影響.基于該AFM繫統,採用恆高模式下不失真掃描速度對光柵微結構錶麵進行瞭快速、大麵積三維形貌測量實驗.實驗結果錶明:測量光柵微結構錶麵上直徑為4.0 mm的圓形區域所用時間僅為40 s.噹掃描速度不超過微懸臂探針有效帶寬所對應的速度時,所構建的AFM繫統可無失真地實現微結構錶麵的快速、大麵積測量.
구건료일충가쾌속대면적측량광책표면미결구적원자력현미경(AFM)계통,연구료불동소묘모식하소묘속도대측량결과적영향.분별측량료미현비탐침재항고모식여항력모식하적빈보,획득료저량충모식하미현비탐침적유효대관.기우항고모식여항력모식,재불동소묘속도하분별측량료광책미결구표면상적일조직선여일개원주,진이분석료소묘속도대측량결과적영향.기우해AFM계통,채용항고모식하불실진소묘속도대광책미결구표면진행료쾌속、대면적삼유형모측량실험.실험결과표명:측량광책미결구표면상직경위4.0 mm적원형구역소용시간부위40 s.당소묘속도불초과미현비탐침유효대관소대응적속도시,소구건적AFM계통가무실진지실현미결구표면적쾌속、대면적측량.
