中国表面工程
中國錶麵工程
중국표면공정
CHINA SURFACE ENGINEERING
2002年
4期
28-31
,共4页
朱晓东%米彦郁%胡奈赛%何家文
硃曉東%米彥鬱%鬍奈賽%何傢文
주효동%미언욱%호내새%하가문
薄膜%结合强度%滚动接触疲劳%划痕法%压入法
薄膜%結閤彊度%滾動接觸疲勞%劃痕法%壓入法
박막%결합강도%곤동접촉피로%화흔법%압입법
薄膜(镀层)与基体之间的结合强度是评价薄膜质量的重要性能指标.目前使用最广泛的是划痕法和压入法.这些都属于一次性加载方式.一种较好的评定硬质膜膜基结合强度的方法是采用以临界剪切应力幅(τc作为判据的滚动接触疲劳法.通过与划痕法,压入法的对比可知表征结合强度大小的剪切应力幅只对界面因素敏感,对非界面因素不敏感,能真实反映膜基结合状态,是一个较为合理的动态结合强度判据.
薄膜(鍍層)與基體之間的結閤彊度是評價薄膜質量的重要性能指標.目前使用最廣汎的是劃痕法和壓入法.這些都屬于一次性加載方式.一種較好的評定硬質膜膜基結閤彊度的方法是採用以臨界剪切應力幅(τc作為判據的滾動接觸疲勞法.通過與劃痕法,壓入法的對比可知錶徵結閤彊度大小的剪切應力幅隻對界麵因素敏感,對非界麵因素不敏感,能真實反映膜基結閤狀態,是一箇較為閤理的動態結閤彊度判據.
박막(도층)여기체지간적결합강도시평개박막질량적중요성능지표.목전사용최엄범적시화흔법화압입법.저사도속우일차성가재방식.일충교호적평정경질막막기결합강도적방법시채용이림계전절응력폭(τc작위판거적곤동접촉피로법.통과여화흔법,압입법적대비가지표정결합강도대소적전절응력폭지대계면인소민감,대비계면인소불민감,능진실반영막기결합상태,시일개교위합리적동태결합강도판거.
