天津大学学报
天津大學學報
천진대학학보
JOURNAL OF TIANJIN UNIVERSITY SCIENCE AND TECHNOLOGY
2004年
9期
787-791
,共5页
李建文%刘书亮%付敬业%周涛%郑义忠
李建文%劉書亮%付敬業%週濤%鄭義忠
리건문%류서량%부경업%주도%정의충
电容测微仪%非接触测量%误差修正
電容測微儀%非接觸測量%誤差脩正
전용측미의%비접촉측량%오차수정
针对非接触式电容测微技术的应用问题,介绍了非接触式高精度电容测微仪的基本工作原理及关键技术,给出了仪器的主要结构,对仪器电路进行了模块化设计,研究分析了实际测量过程中不可避免的各种误差,并提出了相应的消除或修正方法.研究结果表明,探头的有效直径为1 mm时,仪器的分辨率可达1 nm,测量范围为±5 μm.探头的有效直径为9 mm时,分辨率可降到0.1 μm,测量范围可扩大到±1 mm,动态频响0～4 kHz.
針對非接觸式電容測微技術的應用問題,介紹瞭非接觸式高精度電容測微儀的基本工作原理及關鍵技術,給齣瞭儀器的主要結構,對儀器電路進行瞭模塊化設計,研究分析瞭實際測量過程中不可避免的各種誤差,併提齣瞭相應的消除或脩正方法.研究結果錶明,探頭的有效直徑為1 mm時,儀器的分辨率可達1 nm,測量範圍為±5 μm.探頭的有效直徑為9 mm時,分辨率可降到0.1 μm,測量範圍可擴大到±1 mm,動態頻響0～4 kHz.
침대비접촉식전용측미기술적응용문제,개소료비접촉식고정도전용측미의적기본공작원리급관건기술,급출료의기적주요결구,대의기전로진행료모괴화설계,연구분석료실제측량과정중불가피면적각충오차,병제출료상응적소제혹수정방법.연구결과표명,탐두적유효직경위1 mm시,의기적분변솔가체1 nm,측량범위위±5 μm.탐두적유효직경위9 mm시,분변솔가강도0.1 μm,측량범위가확대도±1 mm,동태빈향0～4 kHz.
