电子元件与材料
電子元件與材料
전자원건여재료
ELECTRONIC COMPONENTS & MATERIALS
2004年
12期
25-27
,共3页
崔红玲%杨邦朝%杜晓松%滕林%周鸿仁
崔紅玲%楊邦朝%杜曉鬆%滕林%週鴻仁
최홍령%양방조%두효송%등림%주홍인
电子技术%锰铜传感器%三氧化二铝%绝缘薄膜%电子束蒸发%致密性
電子技術%錳銅傳感器%三氧化二鋁%絕緣薄膜%電子束蒸髮%緻密性
전자기술%맹동전감기%삼양화이려%절연박막%전자속증발%치밀성
为了提高锰铜传感器的测压上限,须用薄膜工艺制备无机绝缘三氧化二铝薄膜来作为传感器的绝缘封装层.采用电子束蒸发法,对影响三氧化二铝薄膜的相关工艺如:蒸发原料的纯度、成膜次数进行了研究.最终得出:由99.99%的三氧化二铝原料制备出的薄膜致密性好、缺陷少,其绝缘电阻率和损耗分别可达1012Ω·cm和10-3量级;而采用多次间隙蒸发可明显改善薄膜的附着性和致密性.
為瞭提高錳銅傳感器的測壓上限,鬚用薄膜工藝製備無機絕緣三氧化二鋁薄膜來作為傳感器的絕緣封裝層.採用電子束蒸髮法,對影響三氧化二鋁薄膜的相關工藝如:蒸髮原料的純度、成膜次數進行瞭研究.最終得齣:由99.99%的三氧化二鋁原料製備齣的薄膜緻密性好、缺陷少,其絕緣電阻率和損耗分彆可達1012Ω·cm和10-3量級;而採用多次間隙蒸髮可明顯改善薄膜的附著性和緻密性.
위료제고맹동전감기적측압상한,수용박막공예제비무궤절연삼양화이려박막래작위전감기적절연봉장층.채용전자속증발법,대영향삼양화이려박막적상관공예여:증발원료적순도、성막차수진행료연구.최종득출:유99.99%적삼양화이려원료제비출적박막치밀성호、결함소,기절연전조솔화손모분별가체1012Ω·cm화10-3량급;이채용다차간극증발가명현개선박막적부착성화치밀성.
