光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2005年
2期
176-179
,共4页
高卫东%张伟丽%范树海%张大伟%邵建达%范正修
高衛東%張偉麗%範樹海%張大偉%邵建達%範正脩
고위동%장위려%범수해%장대위%소건체%범정수
铪%氧化铪%薄膜%激光损伤阈值
鉿%氧化鉿%薄膜%激光損傷閾值
협%양화협%박막%격광손상역치
利用蒸发氧化铪和离子辅助蒸发金属铪反应沉积氧化铪薄膜,对两种工艺下制备的氧化铪薄膜进行光学和结构以及激光损伤特性的研究.实验结果表明,用金属铪反应沉积的氧化铪薄膜不仅结构均匀,并且具有较高的激光损伤阈值.文章对损伤阈值和薄膜的结构及光学特性之间的关系进行了讨论.
利用蒸髮氧化鉿和離子輔助蒸髮金屬鉿反應沉積氧化鉿薄膜,對兩種工藝下製備的氧化鉿薄膜進行光學和結構以及激光損傷特性的研究.實驗結果錶明,用金屬鉿反應沉積的氧化鉿薄膜不僅結構均勻,併且具有較高的激光損傷閾值.文章對損傷閾值和薄膜的結構及光學特性之間的關繫進行瞭討論.
이용증발양화협화리자보조증발금속협반응침적양화협박막,대량충공예하제비적양화협박막진행광학화결구이급격광손상특성적연구.실험결과표명,용금속협반응침적적양화협박막불부결구균균,병차구유교고적격광손상역치.문장대손상역치화박막적결구급광학특성지간적관계진행료토론.
