机械工程学报
機械工程學報
궤계공정학보
CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING
2007年
1期
214-218
,共5页
赵学增%李洪波%褚巍%肖增文%李宁
趙學增%李洪波%褚巍%肖增文%李寧
조학증%리홍파%저외%초증문%리저
纳米计量%临界尺寸%线边缘粗糙度%材料本质粗糙度%扫描电子显微镜(SEM)%原子力显微镜(AFM)
納米計量%臨界呎吋%線邊緣粗糙度%材料本質粗糙度%掃描電子顯微鏡(SEM)%原子力顯微鏡(AFM)
납미계량%림계척촌%선변연조조도%재료본질조조도%소묘전자현미경(SEM)%원자력현미경(AFM)
对目前线边缘粗糙度(Line edge roughness,LER)的研究进行了分类,区分线宽变化率、线的边缘粗糙度和侧墙(边缘)粗糙度的物理本质.重新给出一个LER定义,定义LER是由加工工艺和材料本身结构引起的刻线侧墙的表面形貌微观不规则程度,并分析给出定义的合理性.给出该定义和ITRS定义间的换算关系.结合刻线的加工过程主要发生在刻线的边缘表面,且该加工过程发生于深纳米尺度,给出一种基于原子尺度的LER计量模型,在该模型中分离了材料本质粗糙度.
對目前線邊緣粗糙度(Line edge roughness,LER)的研究進行瞭分類,區分線寬變化率、線的邊緣粗糙度和側牆(邊緣)粗糙度的物理本質.重新給齣一箇LER定義,定義LER是由加工工藝和材料本身結構引起的刻線側牆的錶麵形貌微觀不規則程度,併分析給齣定義的閤理性.給齣該定義和ITRS定義間的換算關繫.結閤刻線的加工過程主要髮生在刻線的邊緣錶麵,且該加工過程髮生于深納米呎度,給齣一種基于原子呎度的LER計量模型,在該模型中分離瞭材料本質粗糙度.
대목전선변연조조도(Line edge roughness,LER)적연구진행료분류,구분선관변화솔、선적변연조조도화측장(변연)조조도적물리본질.중신급출일개LER정의,정의LER시유가공공예화재료본신결구인기적각선측장적표면형모미관불규칙정도,병분석급출정의적합이성.급출해정의화ITRS정의간적환산관계.결합각선적가공과정주요발생재각선적변연표면,차해가공과정발생우심납미척도,급출일충기우원자척도적LER계량모형,재해모형중분리료재료본질조조도.
