电子机械工程
電子機械工程
전자궤계공정
ELECTRO-MECHANICAL ENGINEERING
2008年
2期
28-31,34
,共5页
刘晓明%汪洋%王殿银%朱钟淦
劉曉明%汪洋%王殿銀%硃鐘淦
류효명%왕양%왕전은%주종감
MEMS%热设计%尺度效应%液体冷却%微热交换器
MEMS%熱設計%呎度效應%液體冷卻%微熱交換器
MEMS%열설계%척도효응%액체냉각%미열교환기
MEMS中的热密度高于80 W/cm2,发热问题已严重影响着其可靠性.文中从微小结构液体冷却热交换设计理论分析和试验着手,研究高热密度情况下的MEMS散热设计.宏观下的流体力学和传热学在微尺度中存在尺度效应.由于微结构中流体表面张力的影响,使流体流动状态由层流变成紊流的重要参数雷诺数Re约为900~1100时,流动状态将发生变化.基于目前MEMS微体加工的可能,文中给出了三种在MEMS中使用的液体冷却微热交换器的设计,经计算机仿真,该热交换器有较大的使用价值.
MEMS中的熱密度高于80 W/cm2,髮熱問題已嚴重影響著其可靠性.文中從微小結構液體冷卻熱交換設計理論分析和試驗著手,研究高熱密度情況下的MEMS散熱設計.宏觀下的流體力學和傳熱學在微呎度中存在呎度效應.由于微結構中流體錶麵張力的影響,使流體流動狀態由層流變成紊流的重要參數雷諾數Re約為900~1100時,流動狀態將髮生變化.基于目前MEMS微體加工的可能,文中給齣瞭三種在MEMS中使用的液體冷卻微熱交換器的設計,經計算機倣真,該熱交換器有較大的使用價值.
MEMS중적열밀도고우80 W/cm2,발열문제이엄중영향착기가고성.문중종미소결구액체냉각열교환설계이론분석화시험착수,연구고열밀도정황하적MEMS산열설계.굉관하적류체역학화전열학재미척도중존재척도효응.유우미결구중류체표면장력적영향,사류체류동상태유층류변성문류적중요삼수뢰낙수Re약위900~1100시,류동상태장발생변화.기우목전MEMS미체가공적가능,문중급출료삼충재MEMS중사용적액체냉각미열교환기적설계,경계산궤방진,해열교환기유교대적사용개치.
