仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2010年
10期
2180-2185
,共6页
崔远慧%唐祯安%余隽%张双岩
崔遠慧%唐禎安%餘雋%張雙巖
최원혜%당정안%여준%장쌍암
气体传感器%动态测试系统%线性最小二乘法%闭环控制
氣體傳感器%動態測試繫統%線性最小二乘法%閉環控製
기체전감기%동태측시계통%선성최소이승법%폐배공제
目前气体传感动态配气方法已经广泛应用,但具体的配制精度还没有系统研究.设计并组建了以四级杆质谱仪、质量流量控制器和计算机程控系统为主的气体传感器测试系统,该系统根据质谱仪的测试数据利用线性最小二乘法实时调整质量流量控制器的输出电压,采用LabVIEW8.5编写上位机数据采集软件进行远程闭环控制.对目前工业领域使用量最大的12种危化品气体进行了气体配制,并对配制的部分气体利用Agilent6890气相色谱仪进行了测试分析,给出了该测试系统在常温常压下配制不同浓度混合气体的精度.实验数据表明:该系统配制的气体可以作为工业气体传感器的标定气体使用.
目前氣體傳感動態配氣方法已經廣汎應用,但具體的配製精度還沒有繫統研究.設計併組建瞭以四級桿質譜儀、質量流量控製器和計算機程控繫統為主的氣體傳感器測試繫統,該繫統根據質譜儀的測試數據利用線性最小二乘法實時調整質量流量控製器的輸齣電壓,採用LabVIEW8.5編寫上位機數據採集軟件進行遠程閉環控製.對目前工業領域使用量最大的12種危化品氣體進行瞭氣體配製,併對配製的部分氣體利用Agilent6890氣相色譜儀進行瞭測試分析,給齣瞭該測試繫統在常溫常壓下配製不同濃度混閤氣體的精度.實驗數據錶明:該繫統配製的氣體可以作為工業氣體傳感器的標定氣體使用.
목전기체전감동태배기방법이경엄범응용,단구체적배제정도환몰유계통연구.설계병조건료이사급간질보의、질량류량공제기화계산궤정공계통위주적기체전감기측시계통,해계통근거질보의적측시수거이용선성최소이승법실시조정질량류량공제기적수출전압,채용LabVIEW8.5편사상위궤수거채집연건진행원정폐배공제.대목전공업영역사용량최대적12충위화품기체진행료기체배제,병대배제적부분기체이용Agilent6890기상색보의진행료측시분석,급출료해측시계통재상온상압하배제불동농도혼합기체적정도.실험수거표명:해계통배제적기체가이작위공업기체전감기적표정기체사용.
