宝石和宝石学杂志
寶石和寶石學雜誌
보석화보석학잡지
Journal of Gems & gemmology
2010年
4期
6-11
,共6页
满卫东%吕继磊%吴宇琼%陈朋%朱金凤%董维%汪建华
滿衛東%呂繼磊%吳宇瓊%陳朋%硃金鳳%董維%汪建華
만위동%려계뢰%오우경%진붕%주금봉%동유%왕건화
宝石级金刚石%微波等离子体%化学气相沉积%外延%籽晶
寶石級金剛石%微波等離子體%化學氣相沉積%外延%籽晶
보석급금강석%미파등리자체%화학기상침적%외연%자정
利用自制的5 kW微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置对在不同衬底材料上外延生长的CVD金刚石进行了研究.利用HPHT金刚石、CVD异质形核生长的金刚石及Ia型天然金刚石样品作为籽晶,分析了不同CH4浓度与基片温度对外延CVD金刚石的影响以及通过扫描电子显微镜表征了CVD金刚石外延面的表面形貌.结果发现,HPHT金刚石为籽晶,由于其自身缺陷导致外延效果不佳;CVD异质形核生长的衬底因形核阶段的晶面生长难以控制而使其外延面较粗糙;经打磨的Ia型天然金刚石才是理想的籽晶.当CH4浓度约为10%、基片温度为1 020℃时,CVD金刚石的外延生长速率可达到70.0 μm/h.
利用自製的5 kW微波等離子體化學氣相沉積(MPCVD)裝置對在不同襯底材料上外延生長的CVD金剛石進行瞭研究.利用HPHT金剛石、CVD異質形覈生長的金剛石及Ia型天然金剛石樣品作為籽晶,分析瞭不同CH4濃度與基片溫度對外延CVD金剛石的影響以及通過掃描電子顯微鏡錶徵瞭CVD金剛石外延麵的錶麵形貌.結果髮現,HPHT金剛石為籽晶,由于其自身缺陷導緻外延效果不佳;CVD異質形覈生長的襯底因形覈階段的晶麵生長難以控製而使其外延麵較粗糙;經打磨的Ia型天然金剛石纔是理想的籽晶.噹CH4濃度約為10%、基片溫度為1 020℃時,CVD金剛石的外延生長速率可達到70.0 μm/h.
이용자제적5 kW미파등리자체화학기상침적(MPCVD)장치대재불동츤저재료상외연생장적CVD금강석진행료연구.이용HPHT금강석、CVD이질형핵생장적금강석급Ia형천연금강석양품작위자정,분석료불동CH4농도여기편온도대외연CVD금강석적영향이급통과소묘전자현미경표정료CVD금강석외연면적표면형모.결과발현,HPHT금강석위자정,유우기자신결함도치외연효과불가;CVD이질형핵생장적츤저인형핵계단적정면생장난이공제이사기외연면교조조;경타마적Ia형천연금강석재시이상적자정.당CH4농도약위10%、기편온도위1 020℃시,CVD금강석적외연생장속솔가체도70.0 μm/h.
