CdTe薄膜的射频磁控溅射制备及表征
CdTe박막적사빈자공천사제비급표정
Preparation and Characterization of RF Magntron Sputtering CdTe Thin Film
  • 万方数据
    四川师范大学学报（自然科学版） 사천사범대학학보（자연과학판）
    JOURNAL OF SICHUAN NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
    2011年 3期 376-380 ,共5页

    王波%张静全%王生浩%冯良桓%雷智%武莉莉%李卫%黎兵%曾广根

    왕파%장정전%왕생호%풍량환%뢰지%무리리%리위%려병%증엄근

    射频磁控溅射%CdTe%禁带宽度 射頻磁控濺射%CdTe%禁帶寬度
    사빈자공천사%CdTe%금대관도
    采用射频磁控溅射技术制备了Cdre薄膜,使用探针式台阶仪、X射线衍射分析仪、紫外可见分光光度计、扫描电镜等表征了薄膜的厚度、结构、透过率、表面形貌等随溅射工艺的变化.结果表明:沉积速率随着功率的增加而增加,随气压的增加而呈线性减小;薄膜的结晶程度随气压增大而降低;功率从100W增大到180 W,出现了CdTe薄膜晶相从立方相向六方相的转变;当沉积条件为纯氩气氛、气压0.3Pa、功率100W、室温时,沉积的CdTe薄膜结晶性能最好.
    채용사빈자공천사기술제비료Cdre박막,사용탐침식태계의、X사선연사분석의、자외가견분광광도계、소묘전경등표정료박막적후도、결구、투과솔、표면형모등수천사공예적변화.결과표명:침적속솔수착공솔적증가이증가,수기압적증가이정선성감소;박막적결정정도수기압증대이강저;공솔종100W증대도180 W,출현료CdTe박막정상종립방상향륙방상적전변;당침적조건위순아기분、기압0.3Pa、공솔100W、실온시,침적적CdTe박막결정성능최호.
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