压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2012年
3期
470-472
,共3页
吴鹏飞%张国俊%钟志亲%戴丽萍%王姝娅
吳鵬飛%張國俊%鐘誌親%戴麗萍%王姝婭
오붕비%장국준%종지친%대려평%왕주아
微机电系统(MEMS)%平面微弹簧%弹性系数%有限元方法
微機電繫統(MEMS)%平麵微彈簧%彈性繫數%有限元方法
미궤전계통(MEMS)%평면미탄황%탄성계수%유한원방법
设计了一种新型的C型微机电系统(MEMS)平面微弹簧,用卡氏第二定律和胡克定律推导出这种平面微弹簧在3个方向(即x,y和z方向)上的弹性系数计算公式,用ANSYS进行有限元仿真,结果验证了公式推导的正确性.在公式计算和仿真的基础上,研究了各种结构参数对其弹性系数的影响规律.
設計瞭一種新型的C型微機電繫統(MEMS)平麵微彈簧,用卡氏第二定律和鬍剋定律推導齣這種平麵微彈簧在3箇方嚮(即x,y和z方嚮)上的彈性繫數計算公式,用ANSYS進行有限元倣真,結果驗證瞭公式推導的正確性.在公式計算和倣真的基礎上,研究瞭各種結構參數對其彈性繫數的影響規律.
설계료일충신형적C형미궤전계통(MEMS)평면미탄황,용잡씨제이정률화호극정률추도출저충평면미탄황재3개방향(즉x,y화z방향)상적탄성계수계산공식,용ANSYS진행유한원방진,결과험증료공식추도적정학성.재공식계산화방진적기출상,연구료각충결구삼수대기탄성계수적영향규률.
