材料科学与工艺
材料科學與工藝
재료과학여공예
MATERIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY
2004年
5期
557-560
,共4页
王锐%李道火%黄永攀%罗丽明%浦坦
王銳%李道火%黃永攀%囉麗明%浦坦
왕예%리도화%황영반%라려명%포탄
LICVD%Si3N4%双光束激发%红外吸收光谱%拉曼光谱
LICVD%Si3N4%雙光束激髮%紅外吸收光譜%拉曼光譜
LICVD%Si3N4%쌍광속격발%홍외흡수광보%랍만광보
为了制备高纯度的非晶纳米氮化硅粉体,在传统的激光诱导化学气相沉积法反应装置的基础上,加入正交紫外光束以激励NH3分解,从而提高气相中n(N)/n(Si)比,减少产物中游离硅的摩尔浓度.利用TEM技术和光谱分析技术研究了粒子的形貌和特性.结果表明:在一定的工艺参数条件下,可制备出粒径超微(7～15 nm)、无团聚、理想化学剂量(n(N)/n(Si)=1.314)的非晶纳米氮化硅粉体;表面效应和量子尺寸效应导致粉体红外吸收光谱和拉曼光谱的"蓝移"和"宽化"现象;采用双光束激励的激光诱导化学气相沉积法是制备高纯度纳米氮化硅粉体的理想方法.
為瞭製備高純度的非晶納米氮化硅粉體,在傳統的激光誘導化學氣相沉積法反應裝置的基礎上,加入正交紫外光束以激勵NH3分解,從而提高氣相中n(N)/n(Si)比,減少產物中遊離硅的摩爾濃度.利用TEM技術和光譜分析技術研究瞭粒子的形貌和特性.結果錶明:在一定的工藝參數條件下,可製備齣粒徑超微(7～15 nm)、無糰聚、理想化學劑量(n(N)/n(Si)=1.314)的非晶納米氮化硅粉體;錶麵效應和量子呎吋效應導緻粉體紅外吸收光譜和拉曼光譜的"藍移"和"寬化"現象;採用雙光束激勵的激光誘導化學氣相沉積法是製備高純度納米氮化硅粉體的理想方法.
위료제비고순도적비정납미담화규분체,재전통적격광유도화학기상침적법반응장치적기출상,가입정교자외광속이격려NH3분해,종이제고기상중n(N)/n(Si)비,감소산물중유리규적마이농도.이용TEM기술화광보분석기술연구료입자적형모화특성.결과표명:재일정적공예삼수조건하,가제비출립경초미(7～15 nm)、무단취、이상화학제량(n(N)/n(Si)=1.314)적비정납미담화규분체;표면효응화양자척촌효응도치분체홍외흡수광보화랍만광보적"람이"화"관화"현상;채용쌍광속격려적격광유도화학기상침적법시제비고순도납미담화규분체적이상방법.
