鹭江职业大学学报
鷺江職業大學學報
로강직업대학학보
JOURNAL OF LUJIANG UNIVERSITY
2005年
3期
60-62
,共3页
集成电路%铜%互连线
集成電路%銅%互連線
집성전로%동%호련선
在集成电路中采用双镶嵌工艺制备互连线,铜作为互连线的材料具有低电阻率和较好的抗电迁移能力等优点,同时存在新的缺陷模式如沟槽缺陷、气泡缺陷、金属缺失等,目前的工作主要是该工艺的完善.
在集成電路中採用雙鑲嵌工藝製備互連線,銅作為互連線的材料具有低電阻率和較好的抗電遷移能力等優點,同時存在新的缺陷模式如溝槽缺陷、氣泡缺陷、金屬缺失等,目前的工作主要是該工藝的完善.
재집성전로중채용쌍양감공예제비호련선,동작위호련선적재료구유저전조솔화교호적항전천이능력등우점,동시존재신적결함모식여구조결함、기포결함、금속결실등,목전적공작주요시해공예적완선.
