力学与实践
力學與實踐
역학여실천
MECHANICS AND PRACTICE
2006年
3期
19-23
,共5页
李帅辉%舒勇华%唐锦荣%樊菁
李帥輝%舒勇華%唐錦榮%樊菁
리수휘%서용화%당금영%번정
薄膜气相沉积%真空辐射加热%基片温度分布
薄膜氣相沉積%真空輻射加熱%基片溫度分佈
박막기상침적%진공복사가열%기편온도분포
真空辐射加热下基片表面温度分布的均匀性是薄膜制备中的关键问题之一.采用数值计算和比色红外测温两种方法,研究了作者自行研制的真空辐射加热器(IMCAS-VRH)的性能.利用IMCAS-VRH加热直径6in的单晶硅基片,当电功率为3860W时,基片表面平均温度为1093K,整个基片上的温度变化的测量值约为6 K.基片表面温度分布的计算结果与测量数据符合得很好,进一步的计算分析表明钼丝对辐射的遮挡效应、隔热屏和基片热传导等对基片温度分布均匀性有重要影响.
真空輻射加熱下基片錶麵溫度分佈的均勻性是薄膜製備中的關鍵問題之一.採用數值計算和比色紅外測溫兩種方法,研究瞭作者自行研製的真空輻射加熱器(IMCAS-VRH)的性能.利用IMCAS-VRH加熱直徑6in的單晶硅基片,噹電功率為3860W時,基片錶麵平均溫度為1093K,整箇基片上的溫度變化的測量值約為6 K.基片錶麵溫度分佈的計算結果與測量數據符閤得很好,進一步的計算分析錶明鉬絲對輻射的遮擋效應、隔熱屏和基片熱傳導等對基片溫度分佈均勻性有重要影響.
진공복사가열하기편표면온도분포적균균성시박막제비중적관건문제지일.채용수치계산화비색홍외측온량충방법,연구료작자자행연제적진공복사가열기(IMCAS-VRH)적성능.이용IMCAS-VRH가열직경6in적단정규기편,당전공솔위3860W시,기편표면평균온도위1093K,정개기편상적온도변화적측량치약위6 K.기편표면온도분포적계산결과여측량수거부합득흔호,진일보적계산분석표명목사대복사적차당효응、격열병화기편열전도등대기편온도분포균균성유중요영향.
