CAJ | 학술논문

利用非平衡直流磁控双靶溅射在不同的基底转速(4～11r/min)和不同反应气体流量下制备一系列的具有纳米周期的CrN/ZrN多层膜.利用X射线衍射,俄歇电子能谱,X射线光电子能谱表征了薄膜的成分和结构,利用纳米力学测试系统以及摩擦磨损仪测量了薄膜的机械性能和摩擦磨损性能,分析了基底的转速、反应气体的种类及流量对薄膜结构与机械性能和摩擦磨损性能的影响.结果表明:在氮中混入适量氨气条件下合成的具有小纳米周期的多层膜,其硬度可达32 GPa,磨损率可低到0.3865×10-5mm3/Nm,明显优于单质薄膜.低角度XRD分析证明了薄膜的多层结构.
이용비평형직류자공쌍파천사재불동적기저전속(4～11r/min)화불동반응기체류량하제비일계렬적구유납미주기적CrN/ZrN다층막.이용X사선연사,아헐전자능보,X사선광전자능보표정료박막적성분화결구,이용납미역학측시계통이급마찰마손의측량료박막적궤계성능화마찰마손성능,분석료기저적전속、반응기체적충류급류량대박막결구여궤계성능화마찰마손성능적영향.결과표명:재담중혼입괄량안기조건하합성적구유소납미주기적다층막,기경도가체32 GPa,마손솔가저도0.3865×10-5mm3/Nm,명현우우단질박막.저각도XRD분석증명료박막적다층결구.