半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2007年
4期
610-613
,共4页
刘丽%张彤%漆奇%陈维友%徐宝琨
劉麗%張彤%漆奇%陳維友%徐寶琨
류려%장동%칠기%진유우%서보곤
La0.7Sr0.3FeO3%纳米材料%微结构%低功耗%乙醇%气体传感器
La0.7Sr0.3FeO3%納米材料%微結構%低功耗%乙醇%氣體傳感器
La0.7Sr0.3FeO3%납미재료%미결구%저공모%을순%기체전감기
以La0.7Sr0.3FeO3为敏感材料,设计制成了一种新型的共平面结构气体传感器.基于有限元分析软件Ansys对该传感器结构进行了优化设计.实验测得该传感器对于500ppm浓度乙醇气体的灵敏度为8.0,功耗为261mW,是同种敏感材料烧结型传感器功耗的2/3,响应时间约为1.5s,恢复时间约为2.5s,是一种功耗低、灵敏度高、稳定性好的微结构乙醇气体传感器.
以La0.7Sr0.3FeO3為敏感材料,設計製成瞭一種新型的共平麵結構氣體傳感器.基于有限元分析軟件Ansys對該傳感器結構進行瞭優化設計.實驗測得該傳感器對于500ppm濃度乙醇氣體的靈敏度為8.0,功耗為261mW,是同種敏感材料燒結型傳感器功耗的2/3,響應時間約為1.5s,恢複時間約為2.5s,是一種功耗低、靈敏度高、穩定性好的微結構乙醇氣體傳感器.
이La0.7Sr0.3FeO3위민감재료,설계제성료일충신형적공평면결구기체전감기.기우유한원분석연건Ansys대해전감기결구진행료우화설계.실험측득해전감기대우500ppm농도을순기체적령민도위8.0,공모위261mW,시동충민감재료소결형전감기공모적2/3,향응시간약위1.5s,회복시간약위2.5s,시일충공모저、령민도고、은정성호적미결구을순기체전감기.
