功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2008年
1期
215-217
,共3页
张丛春%石金川%刘兴刚%杨春生
張叢春%石金川%劉興剛%楊春生
장총춘%석금천%류흥강%양춘생
磁控溅射%镍酸镧薄膜%择优取向%沉积温度
磁控濺射%鎳痠鑭薄膜%擇優取嚮%沉積溫度
자공천사%얼산란박막%택우취향%침적온도
采用射频磁控溅射法在Si(100)衬底上制备了LaNiO3薄膜.通过原位加热或后续热处理使薄膜晶化.借助X-ray衍射分析、电感耦合等离子体发射光谱、原子力显微镜等手段研究了溅射工艺对薄膜显微结构的影响.实验结果表明,溅射时是否加热对薄膜的结晶取向影响很大,而氧分压则影响La/Ni比.衬底不加热时,通过后续热处理得到多晶的随机取向薄膜,而当溅射时原位加热300℃,则得到有明显(100)择优取向的薄膜.
採用射頻磁控濺射法在Si(100)襯底上製備瞭LaNiO3薄膜.通過原位加熱或後續熱處理使薄膜晶化.藉助X-ray衍射分析、電感耦閤等離子體髮射光譜、原子力顯微鏡等手段研究瞭濺射工藝對薄膜顯微結構的影響.實驗結果錶明,濺射時是否加熱對薄膜的結晶取嚮影響很大,而氧分壓則影響La/Ni比.襯底不加熱時,通過後續熱處理得到多晶的隨機取嚮薄膜,而噹濺射時原位加熱300℃,則得到有明顯(100)擇優取嚮的薄膜.
채용사빈자공천사법재Si(100)츤저상제비료LaNiO3박막.통과원위가열혹후속열처리사박막정화.차조X-ray연사분석、전감우합등리자체발사광보、원자력현미경등수단연구료천사공예대박막현미결구적영향.실험결과표명,천사시시부가열대박막적결정취향영향흔대,이양분압칙영향La/Ni비.츤저불가열시,통과후속열처리득도다정적수궤취향박막,이당천사시원위가열300℃,칙득도유명현(100)택우취향적박막.
