无机材料学报
無機材料學報
무궤재료학보
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
2009年
3期
602-606
,共5页
付伟佳%刘志文%谷建峰%刘明%张庆瑜
付偉佳%劉誌文%穀建峰%劉明%張慶瑜
부위가%류지문%곡건봉%류명%장경유
ZnO薄膜%反应射频磁控溅射%偏压%形貌分析
ZnO薄膜%反應射頻磁控濺射%偏壓%形貌分析
ZnO박막%반응사빈자공천사%편압%형모분석
利用反应射频磁控溅射技术,通过对基体施加负偏压溅射ZnO薄膜,探讨了固定偏压下ZnO薄膜的表面形貌随沉积时间的演化以及不同偏压对ZnO薄膜表面形貌的影响. 研究结果表明,在-100V的偏压下,随着沉积时间的增加,ZnO薄膜的表面岛尺寸不断减小,密度逐渐变大. ZnO在基片表面成核过程中的本征缺陷成核阶段和轰击缺陷成核阶段的生长指数分别为(0.45±0.03)和(0.22±0.04),低速率成核过程基本消失;随着偏压增大,表面岛的尺寸变大,表面起伏增加. 偏压不但可以改变ZnO薄膜的成核和生长过程,而且影响薄膜的晶体取向.
利用反應射頻磁控濺射技術,通過對基體施加負偏壓濺射ZnO薄膜,探討瞭固定偏壓下ZnO薄膜的錶麵形貌隨沉積時間的縯化以及不同偏壓對ZnO薄膜錶麵形貌的影響. 研究結果錶明,在-100V的偏壓下,隨著沉積時間的增加,ZnO薄膜的錶麵島呎吋不斷減小,密度逐漸變大. ZnO在基片錶麵成覈過程中的本徵缺陷成覈階段和轟擊缺陷成覈階段的生長指數分彆為(0.45±0.03)和(0.22±0.04),低速率成覈過程基本消失;隨著偏壓增大,錶麵島的呎吋變大,錶麵起伏增加. 偏壓不但可以改變ZnO薄膜的成覈和生長過程,而且影響薄膜的晶體取嚮.
이용반응사빈자공천사기술,통과대기체시가부편압천사ZnO박막,탐토료고정편압하ZnO박막적표면형모수침적시간적연화이급불동편압대ZnO박막표면형모적영향. 연구결과표명,재-100V적편압하,수착침적시간적증가,ZnO박막적표면도척촌불단감소,밀도축점변대. ZnO재기편표면성핵과정중적본정결함성핵계단화굉격결함성핵계단적생장지수분별위(0.45±0.03)화(0.22±0.04),저속솔성핵과정기본소실;수착편압증대,표면도적척촌변대,표면기복증가. 편압불단가이개변ZnO박막적성핵화생장과정,이차영향박막적정체취향.
