红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2011年
7期
1310-1313
,共4页
叶海仙%鄢定尧%张宁%杨李茗
葉海仙%鄢定堯%張寧%楊李茗
협해선%언정요%장저%양리명
大口径离轴非球面%Zemax辅助标定%离轴量%4D干涉仪
大口徑離軸非毬麵%Zemax輔助標定%離軸量%4D榦涉儀
대구경리축비구면%Zemax보조표정%리축량%4D간섭의
检测标定了一块放置多年的φ530 mm离轴非球面.根据当年的结构参数,在光学设计软件Zemax中建立了该离轴非球面的检测模型.利用y轴离心和x轴倾斜实现了离轴和光束倾斜.通过对某结构参数多次赋值,并将其他结构参数设为变量,优化并观察干涉图变化,找到最佳参数值.根据Zemax对参数的优化结果,使用4D干涉仪和φ510 mm的平面反射镜,搭建实际检测光路,观察干涉图并进行微调,测得最终结果.去彗差和像散前后图像PV值几乎不变,达到了调节标定要求.使用Zemax软件辅助干涉仪对离轴非球面的检测,大大提高了检测效率,有利于光学加工效率的提高.
檢測標定瞭一塊放置多年的φ530 mm離軸非毬麵.根據噹年的結構參數,在光學設計軟件Zemax中建立瞭該離軸非毬麵的檢測模型.利用y軸離心和x軸傾斜實現瞭離軸和光束傾斜.通過對某結構參數多次賦值,併將其他結構參數設為變量,優化併觀察榦涉圖變化,找到最佳參數值.根據Zemax對參數的優化結果,使用4D榦涉儀和φ510 mm的平麵反射鏡,搭建實際檢測光路,觀察榦涉圖併進行微調,測得最終結果.去彗差和像散前後圖像PV值幾乎不變,達到瞭調節標定要求.使用Zemax軟件輔助榦涉儀對離軸非毬麵的檢測,大大提高瞭檢測效率,有利于光學加工效率的提高.
검측표정료일괴방치다년적φ530 mm리축비구면.근거당년적결구삼수,재광학설계연건Zemax중건립료해리축비구면적검측모형.이용y축리심화x축경사실현료리축화광속경사.통과대모결구삼수다차부치,병장기타결구삼수설위변량,우화병관찰간섭도변화,조도최가삼수치.근거Zemax대삼수적우화결과,사용4D간섭의화φ510 mm적평면반사경,탑건실제검측광로,관찰간섭도병진행미조,측득최종결과.거혜차화상산전후도상PV치궤호불변,체도료조절표정요구.사용Zemax연건보조간섭의대리축비구면적검측,대대제고료검측효솔,유리우광학가공효솔적제고.
