北京师范大学学报(自然科学版)
北京師範大學學報(自然科學版)
북경사범대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF BEIJING NORMAL UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE)
2001年
4期
482-487
,共6页
肖志松%徐飞%张通和%程国安%顾岚岚
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초지송%서비%장통화%정국안%고람람
铒%纳米硅%离子注入%光致发光
鉺%納米硅%離子註入%光緻髮光
이%납미규%리자주입%광치발광
采用MEVVA离子源强束流离子注入机,将稀土Er离子注入单晶硅、Si和Er离子双注入单晶硅及热氧化硅,Er在硅基薄膜中的掺杂原子分数可达10%, 即数密度约1021cm-3;注入态样品快速退火后有纳米晶Si形成;77K和室温时用441.6nm光激发有Er3+较强的1.54μm特征光发射.探讨了在硅基材料中高浓度Er掺杂薄膜中纳米结构的形成与Er3+的光致发光性能.
採用MEVVA離子源彊束流離子註入機,將稀土Er離子註入單晶硅、Si和Er離子雙註入單晶硅及熱氧化硅,Er在硅基薄膜中的摻雜原子分數可達10%, 即數密度約1021cm-3;註入態樣品快速退火後有納米晶Si形成;77K和室溫時用441.6nm光激髮有Er3+較彊的1.54μm特徵光髮射.探討瞭在硅基材料中高濃度Er摻雜薄膜中納米結構的形成與Er3+的光緻髮光性能.
채용MEVVA리자원강속류리자주입궤,장희토Er리자주입단정규、Si화Er리자쌍주입단정규급열양화규,Er재규기박막중적참잡원자분수가체10%, 즉수밀도약1021cm-3;주입태양품쾌속퇴화후유납미정Si형성;77K화실온시용441.6nm광격발유Er3+교강적1.54μm특정광발사.탐토료재규기재료중고농도Er참잡박막중납미결구적형성여Er3+적광치발광성능.
