微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2005年
4期
195-199
,共5页
光通信%光开关%微光机电系统
光通信%光開關%微光機電繫統
광통신%광개관%미광궤전계통
概述了光开关的各种性能指标;综述了目前业已实用或正在研究的光开关阵列的各种制作技术,分析了其发展趋势;最后介绍了MOEMS光开关的结构和工作原理.
概述瞭光開關的各種性能指標;綜述瞭目前業已實用或正在研究的光開關陣列的各種製作技術,分析瞭其髮展趨勢;最後介紹瞭MOEMS光開關的結構和工作原理.
개술료광개관적각충성능지표;종술료목전업이실용혹정재연구적광개관진렬적각충제작기술,분석료기발전추세;최후개소료MOEMS광개관적결구화공작원리.
