真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2006年
z1期
79-82
,共4页
华缜%王红光%李德杰%张羿%刘红君
華縝%王紅光%李德傑%張羿%劉紅君
화진%왕홍광%리덕걸%장예%류홍군
场助热电子发射显示%金属-绝缘体-半导体-金属%10英寸%发射率
場助熱電子髮射顯示%金屬-絕緣體-半導體-金屬%10英吋%髮射率
장조열전자발사현시%금속-절연체-반도체-금속%10영촌%발사솔
讨论了金属-绝缘体-半导体-金属结构的场助热电子发射显示(FAHED)器件的制作原理,简述了Mo/Ta2O5/ZnS/Au结构的10英寸FAHED的制作.通过电子束蒸发具有低功函数的上电极材料,适当控制其厚度,并且控制半导体层合适的厚度和成膜条件可以提高器件的电子发射率至0.3%.
討論瞭金屬-絕緣體-半導體-金屬結構的場助熱電子髮射顯示(FAHED)器件的製作原理,簡述瞭Mo/Ta2O5/ZnS/Au結構的10英吋FAHED的製作.通過電子束蒸髮具有低功函數的上電極材料,適噹控製其厚度,併且控製半導體層閤適的厚度和成膜條件可以提高器件的電子髮射率至0.3%.
토론료금속-절연체-반도체-금속결구적장조열전자발사현시(FAHED)기건적제작원리,간술료Mo/Ta2O5/ZnS/Au결구적10영촌FAHED적제작.통과전자속증발구유저공함수적상전겁재료,괄당공제기후도,병차공제반도체층합괄적후도화성막조건가이제고기건적전자발사솔지0.3%.
