人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2007年
2期
460-463
,共4页
孙心瑗%周灵平%李宇农%易学华%陈本敬
孫心瑗%週靈平%李宇農%易學華%陳本敬
손심원%주령평%리우농%역학화%진본경
金刚石多晶球%射频放电%等离子体增强%热丝化学气相沉积
金剛石多晶毬%射頻放電%等離子體增彊%熱絲化學氣相沉積
금강석다정구%사빈방전%등리자체증강%열사화학기상침적
在传统的HFCVD系统中,引入射频电源后,通过与灯丝或者衬底的连接,组成了射频放电辅助下的四种不同沉积金刚石的生长模式.在各种生长模式下,分别以酒精和丙酮为碳源,沉积出了金刚石多晶球,并就不同辅助模式下的金刚石的生长速率进行了研究.结果表明,等离子体增强法能够明显促进金刚石的生长,而电子促进法的生长速率最慢,甚至慢于偏压等离子体的生长速率;与等离子体促进增强法相比,偏压等离子体增强法的生长速率也有所变慢,并且随着偏压射频电流的增大,其生长速率越来越慢;而传统热丝法的生长速率与沉积金刚石时所选用碳源的分子结构有很大的关系.
在傳統的HFCVD繫統中,引入射頻電源後,通過與燈絲或者襯底的連接,組成瞭射頻放電輔助下的四種不同沉積金剛石的生長模式.在各種生長模式下,分彆以酒精和丙酮為碳源,沉積齣瞭金剛石多晶毬,併就不同輔助模式下的金剛石的生長速率進行瞭研究.結果錶明,等離子體增彊法能夠明顯促進金剛石的生長,而電子促進法的生長速率最慢,甚至慢于偏壓等離子體的生長速率;與等離子體促進增彊法相比,偏壓等離子體增彊法的生長速率也有所變慢,併且隨著偏壓射頻電流的增大,其生長速率越來越慢;而傳統熱絲法的生長速率與沉積金剛石時所選用碳源的分子結構有很大的關繫.
재전통적HFCVD계통중,인입사빈전원후,통과여등사혹자츤저적련접,조성료사빈방전보조하적사충불동침적금강석적생장모식.재각충생장모식하,분별이주정화병동위탄원,침적출료금강석다정구,병취불동보조모식하적금강석적생장속솔진행료연구.결과표명,등리자체증강법능구명현촉진금강석적생장,이전자촉진법적생장속솔최만,심지만우편압등리자체적생장속솔;여등리자체촉진증강법상비,편압등리자체증강법적생장속솔야유소변만,병차수착편압사빈전류적증대,기생장속솔월래월만;이전통열사법적생장속솔여침적금강석시소선용탄원적분자결구유흔대적관계.