科学技术与工程
科學技術與工程
과학기술여공정
SCIENCE TECHNOLOGY AND ENGINEERING
2012年
27期
7051-7053,7057
,共4页
氮化锆膜%纳米压痕硬度%粗糙度%离子辅助沉积
氮化鋯膜%納米壓痕硬度%粗糙度%離子輔助沉積
담화고막%납미압흔경도%조조도%리자보조침적
以直流脉冲离子源辅助中频磁控溅射方式,在常温和低热条件下在玻璃衬底上制备氮化锆膜,通过扫描电镜和纳米压痕仪对薄膜的表面形貌、显微硬度、表面粗糙度的变化情况进行了研究.结果表明:增加薄膜的沉积温度,导致膜层硬度的降低；膜层中晶粒尺寸增大；微观粗糙度增加；晶粒之间的间隙明显减小；晶粒之间出现明显的镶嵌现象.
以直流脈遲離子源輔助中頻磁控濺射方式,在常溫和低熱條件下在玻璃襯底上製備氮化鋯膜,通過掃描電鏡和納米壓痕儀對薄膜的錶麵形貌、顯微硬度、錶麵粗糙度的變化情況進行瞭研究.結果錶明:增加薄膜的沉積溫度,導緻膜層硬度的降低；膜層中晶粒呎吋增大；微觀粗糙度增加；晶粒之間的間隙明顯減小；晶粒之間齣現明顯的鑲嵌現象.
이직류맥충리자원보조중빈자공천사방식,재상온화저열조건하재파리츤저상제비담화고막,통과소묘전경화납미압흔의대박막적표면형모、현미경도、표면조조도적변화정황진행료연구.결과표명:증가박막적침적온도,도치막층경도적강저；막층중정립척촌증대；미관조조도증가；정립지간적간극명현감소；정립지간출현명현적양감현상.
