空间微机电系统的研究与进展
공간미궤전계통적연구여진전
RESEARCH AND DEVELOPMENT OF MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS FOR SPACE APPLICATIONS
  • 万方数据
    真空与低温 진공여저온
    VACUUM AND CRYOGENICS
    2002年 4期 187-196 ,共10页

    黄良甫%贾付云

    황량보%가부운

    微机电系统%微卫星%空间应用 微機電繫統%微衛星%空間應用
    미궤전계통%미위성%공간응용
    介绍了微机电系统的基本原理及其在空间应用的发展概况,着重介绍了空间微传感器、微执行器、RF-MEMS、MOEMS、微仪器和微/纳卫星的研究与进展情况.
    개소료미궤전계통적기본원리급기재공간응용적발전개황,착중개소료공간미전감기、미집행기、RF-MEMS、MOEMS、미의기화미/납위성적연구여진전정황.
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