炭素
炭素
탄소
CARBON
2004年
2期
3-7
,共5页
蒋建纯%周九宁%浦保健%黄伯云
蔣建純%週九寧%浦保健%黃伯雲
장건순%주구저%포보건%황백운
CZ%MCZ%单晶硅%炭/炭复合材料%坩埚
CZ%MCZ%單晶硅%炭/炭複閤材料%坩堝
CZ%MCZ%단정규%탄/탄복합재료%감과
多晶硅用直拉法(CZ)或磁场直拉法(MCZ)拉制成单晶硅棒.晶体生长炉热场零件中的石墨发热体、坩埚等在机械应力和热应力的综合作用下发生变形或损坏造成失效,更换频繁.选用纯度高的炭纤维制成待制件的多孔坯体,经过增密、纯化处理制成炭/炭复合材料坩埚.试制的两体12＂炭/炭复合材料坩埚进行了工业性试验.炭/炭复合材料机械强度高、耐热冲击性能和化学稳定性好,其使用寿命大大高于高纯石墨坩埚.两体的连接止口的氧化侵蚀限制了坩埚的使用寿命.单晶硅设备的大型化、炭/炭复合材料势必成为晶体生长炉热场零件的必选材料.
多晶硅用直拉法(CZ)或磁場直拉法(MCZ)拉製成單晶硅棒.晶體生長爐熱場零件中的石墨髮熱體、坩堝等在機械應力和熱應力的綜閤作用下髮生變形或損壞造成失效,更換頻繁.選用純度高的炭纖維製成待製件的多孔坯體,經過增密、純化處理製成炭/炭複閤材料坩堝.試製的兩體12＂炭/炭複閤材料坩堝進行瞭工業性試驗.炭/炭複閤材料機械彊度高、耐熱遲擊性能和化學穩定性好,其使用壽命大大高于高純石墨坩堝.兩體的連接止口的氧化侵蝕限製瞭坩堝的使用壽命.單晶硅設備的大型化、炭/炭複閤材料勢必成為晶體生長爐熱場零件的必選材料.
다정규용직랍법(CZ)혹자장직랍법(MCZ)랍제성단정규봉.정체생장로열장령건중적석묵발열체、감과등재궤계응력화열응력적종합작용하발생변형혹손배조성실효,경환빈번.선용순도고적탄섬유제성대제건적다공배체,경과증밀、순화처리제성탄/탄복합재료감과.시제적량체12＂탄/탄복합재료감과진행료공업성시험.탄/탄복합재료궤계강도고、내열충격성능화화학은정성호,기사용수명대대고우고순석묵감과.량체적련접지구적양화침식한제료감과적사용수명.단정규설비적대형화、탄/탄복합재료세필성위정체생장로열장령건적필선재료.
