中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2004年
6期
649-653
,共5页
方高瞻%马骁宇%王国宏%谭满清%蓝永生
方高瞻%馬驍宇%王國宏%譚滿清%藍永生
방고첨%마효우%왕국굉%담만청%람영생
激光技术%激光二极管列阵%叠层%GaAs/AlGaAs
激光技術%激光二極管列陣%疊層%GaAs/AlGaAs
격광기술%격광이겁관렬진%첩층%GaAs/AlGaAs
高功率激光二极管列阵广泛应用于抽运固体激光器.报道了17 kW GaAs/AlGaAs叠层激光二极管列阵的设计、制作过程和测试结果.为了提高器件的输出功率,一方面采用宽波导量子阱外延结构,降低腔面光功率密度,提高单个激光条的输出功率,通过金属有机物化学气相沉积(MOCVD)方法进行材料生长,经过光刻、金属化、镀膜等工艺制备1 cm激光条,填充密度为80%,单个激光条输出功率达100 W以上;另一方面器件采用高密度叠层封装结构,提高器件的总输出功率,实现了160个激光条叠层封装,条间距0.5 mm.经测试,器件输出功率达17kW,峰值波长为807.6 nm,谱线宽度为4.9 nm.
高功率激光二極管列陣廣汎應用于抽運固體激光器.報道瞭17 kW GaAs/AlGaAs疊層激光二極管列陣的設計、製作過程和測試結果.為瞭提高器件的輸齣功率,一方麵採用寬波導量子阱外延結構,降低腔麵光功率密度,提高單箇激光條的輸齣功率,通過金屬有機物化學氣相沉積(MOCVD)方法進行材料生長,經過光刻、金屬化、鍍膜等工藝製備1 cm激光條,填充密度為80%,單箇激光條輸齣功率達100 W以上;另一方麵器件採用高密度疊層封裝結構,提高器件的總輸齣功率,實現瞭160箇激光條疊層封裝,條間距0.5 mm.經測試,器件輸齣功率達17kW,峰值波長為807.6 nm,譜線寬度為4.9 nm.
고공솔격광이겁관렬진엄범응용우추운고체격광기.보도료17 kW GaAs/AlGaAs첩층격광이겁관렬진적설계、제작과정화측시결과.위료제고기건적수출공솔,일방면채용관파도양자정외연결구,강저강면광공솔밀도,제고단개격광조적수출공솔,통과금속유궤물화학기상침적(MOCVD)방법진행재료생장,경과광각、금속화、도막등공예제비1 cm격광조,전충밀도위80%,단개격광조수출공솔체100 W이상;령일방면기건채용고밀도첩층봉장결구,제고기건적총수출공솔,실현료160개격광조첩층봉장,조간거0.5 mm.경측시,기건수출공솔체17kW,봉치파장위807.6 nm,보선관도위4.9 nm.
