中国机械工程
中國機械工程
중국궤계공정
CHINA MECHANICAl ENGINEERING
2005年
z1期
257-260
,共4页
方华斌%徐峥谊%刘景全%陈迪%蔡炳初
方華斌%徐崢誼%劉景全%陳迪%蔡炳初
방화빈%서쟁의%류경전%진적%채병초
压电悬臂梁%低频%谐振%有限元分析%电压输出
壓電懸臂樑%低頻%諧振%有限元分析%電壓輸齣
압전현비량%저빈%해진%유한원분석%전압수출
设计了一种硅微悬臂梁结构,在低频环境中以压电厚膜进行信号转换、谐振.使用有限元分析软件ANSYS对结构建模,并进行模态和谐响应分析.模拟分析的结果表明:通过制备添加金属质量块及选择合理的尺寸范围,结构固有频率可在100～1500Hz之间;该结构在共振条件下将运动信号转换为电压信号输出时,电压可达0.4V以上,足以开启双锗二极管进行电路整流.
設計瞭一種硅微懸臂樑結構,在低頻環境中以壓電厚膜進行信號轉換、諧振.使用有限元分析軟件ANSYS對結構建模,併進行模態和諧響應分析.模擬分析的結果錶明:通過製備添加金屬質量塊及選擇閤理的呎吋範圍,結構固有頻率可在100～1500Hz之間;該結構在共振條件下將運動信號轉換為電壓信號輸齣時,電壓可達0.4V以上,足以開啟雙鍺二極管進行電路整流.
설계료일충규미현비량결구,재저빈배경중이압전후막진행신호전환、해진.사용유한원분석연건ANSYS대결구건모,병진행모태화해향응분석.모의분석적결과표명:통과제비첨가금속질량괴급선택합리적척촌범위,결구고유빈솔가재100～1500Hz지간;해결구재공진조건하장운동신호전환위전압신호수출시,전압가체0.4V이상,족이개계쌍타이겁관진행전로정류.
